二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9300859 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676（AG-676）是一種自動晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於半導體晶圓的精密加工。它是一種能夠實現微米級精度和可重復性的高科技設備。該AG-676配備了多種先進的功能，包括用於處理工件的強大機器人臂，以及用於反饋控制和自動故障檢測的基於視覺的系統。提供了一個帶有一組可互換磨盤組件的伺服控制磨頭，每一個都是為了適應不同的晶圓加工要求而設計的。磨頭具有高速振蕩磨盤、精確調節旋轉角度的能力，實現了較高的加工精度和重復性。此外,磁頭還支持快速更換研磨盤,以最大程度地減少過程中斷,並實現過程中鋸片和研磨階段之間的快速切換。該AG-676還配備了集成真空多槽拋光臺，為各種模具尺寸提供了快速一致的操作。該單元還能夠支持掛鉤和環路或磁性安裝拋光墊的操作。此外，AG-676還配備了高速機器人臂，用於將晶圓從研磨輸送到拋光頭。機器人手臂具有高速率振蕩和牢固準確地握住工件的能力，確保了在不產生顆粒汙染的情況下的最佳運輸機制。這也大大縮短了周期時間，提高了機器的吞吐量。該AG-676還配備了一個可選的視覺工具，允許在過程之前和過程中自動檢測和檢查晶片缺陷。該資產能夠高速捕獲晶片的圖像,並將圖像與設置標準進行比較,從而提供一個故障安全模型,能夠快速準確地檢測缺陷。該AG-676提供了卓越的價值，是管理晶圓研磨、研磨和拋光任務的有效和可靠的解決方案。此外,該設備能夠容納所有類型的常用半導體晶片形狀,使其成為一種高效的設備,可為用戶提供更高的吞吐量和更低的成本。