二手 NTS GV 320 / PC-VDM #9248791 待售
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NTS GV 320/PC-VDM是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體工業。該系統能夠精確地控制研磨、研磨和拋光過程。它提供了廣泛的研磨、研磨和拋光半導體晶片從平坦的基板到厚厚的矽層的能力。該裝置配備了多個傳感器,用於監測過程,並就晶圓的狀況提供反饋。GV 320/PC-VDM具有自動研磨、研磨和拋光頭,能夠同時拋光多個晶片。自動頭由齒條齒條機驅動,允許它沿著Y、X和theta軸移動。磁頭還能夠調節磨削和拋光力以及轉速。機動化頭的設計是為了盡量減少振動和抖動的高精度研磨和拋光。NTS GV 320/PC-VDM還配備了紅外導軌引導工具、Mount和Grind反饋控制資產以及獲得專利的WINDOWS方法。紅外導軌制導模型確保了穩定準確的研磨拋光工藝。Mount和Grind反饋控制設備監視過程,並與研磨、研磨和拋光工具進行通信,以幫助縮短啟動壽命並提供高精度晶圓研磨所需的一致性。獲得專利的WINDOW法有助於提高晶片表面的均勻性,也有助於減少磨削和拋光時間的總量。該系統還能夠同時控制三種研磨、研磨和拋光工序:濕磨、幹磨和拋光。它還能夠結合不同的研磨、研磨和拋光程序來定制所需的晶圓光潔度。GV 320/PC-VDM包括所有必要的安全設備,確保安全和操作方便的機器。NTS GV 320/PC-VDM是一種功能強大、用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光裝置。它為晶片生產提供了精確、自動化的加工解決方案,確保晶片質量一致、表面光潔度均勻。利用Mount and Grind反饋控制機和獲得專利的WINDOW法,大大減少了總處理時間,同時保持了高精度的結果。
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