二手 NTS Nano Surface SL910-AFCL #9226058 待售
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ID: 9226058
優質的: 2008
Single diamond polishing system
Polishing heads
Plate non step variable speed system: Smooth start / Stop feature
(4) Holder type pneumatic pressure systems / Level type
Real-time control temperature
Automatic diamond slurry spray system: 2 Points
4-Axes pressure plate water cooling system
(2) Pneumatic step pressure systems: Cylinder ф80 x 200 st
Machine emergency auto-stop function
Hume protective / Exhaust system
Spindle housing system
Lapping plate water cooling system
IR Temperature reading system
Pressure plate: ф360 (Sus 304)
Drop slurry supply system
Timer (Process time)
Solid frame structure
Hand shower: 2 Spots
(2) Auto stirrers
(2) Spray nozzles
Plate: 15~80 RPM
Semi-automatic:
Precision lapping plate facing and grooving system
One time grooving: 150 um Deeps
Main motor: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 7.5 kW
Input voltage: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase
2008 vintage.
NTS Nano Surface SL910-AFCL是由NTS設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於以經濟高效且可重復的方式實現晶圓的研磨、研磨和拋光自動化。該系統旨在為先進的半導體應用準備晶片，幫助減少循環時間和提高產量。該SL910-AFCL由高性能、風扇冷卻的電動機提供動力,能夠產生高達24千瓦的功率。它具有快速收斂研磨技術（RCGT），具有快速高效研磨的速度模式匹配。一個基於PC的機載單元具有一個實時適應振蕩器，能夠優化磨削和拋光過程的控制。此外，它還配備了一個集成的研磨膠片機，可以集成不同的研磨膠片，以便進一步優化工藝。SL910-AFCL的好處包括幾種精確控制選項,包括級別、角度和復雜的多步驟過程,以及一堆高級自動化功能,如負載鎖定器、refelex和晶片稀釋。而且，它也能夠達到sub-2 nm表面光潔度的結果。該工具提供嚴格的過程控制和可重復性,為批量生產提供高產量,並使用戶能夠在其過程中采取更少的步驟。為了實現吞吐量的最大化和成本的最小化，SL910-AFCL采用可調節的速度和溫度預置來優化晶圓的調平和拋光順序。此外,它還具有一個用於動態維持壓力和力水平的自動調速器資產,以及一個用於自動提升和降低晶片卡盤的電動Platen Lift和Air Lift,以實現更高效、更快的水平和拋光過程。它有一個可用的自動晶片存儲器保存模型，使機器能夠記住晶片的拋光級別，並為更快的子序列過程提供準確的召回。總體而言,Nano Surface SL910-AFCL是一款功能強大、先進且經濟實惠的晶圓研磨、研磨和拋光設備,使用戶能夠提高工藝產量並縮短周期時間。
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