二手 NTS NML-3020 #9364614 待售

NTS NML-3020晶圓研磨、研磨和拋光設備是最先進的系統之一.該系統設計用於半導體晶片平面和曲面的精密拋光。NML-3020配有用於研磨晶片背面表面的120毫米精密研磨板，以及用於拋光晶片背面、邊緣圓角和凹口區域的金剛石圓盤輪。NTS NML-3020單元設有兩個垂直主軸（100毫米）和一個水平主軸（50毫米），允許多向研磨和拋光。磨削主軸采用無刷伺服電機驅動，定位快速精準，兩個磨削輪具有不同的特性和尺寸。主研磨輪（Diamond Disc Wheel）由研磨金剛石環構成，具有廣泛的研磨材料如金剛石、氧化鋁、氧化矽和多晶金剛石（PCD）。磨削力由壓力換能器控制，以自動調整磨輪的偏轉，防止越過。晶圓盤輪裝入機器內的主研磨輪，可設定為特定壓力，進行精確且可重復的研磨研磨。NML-3020裝有兩個氣體霧化器和一個轉速選擇器盒，用於晶圓邊緣和缺口區域的均勻拋光。實時視頻供稿可用於監控拋光過程。該機配備了wafermap軟件程序，用於存儲所有拋光坐標，並將其作為未來工藝的參考。NTS NML-3020設計有多種安全裝置和對策，以確保晶圓研磨、研磨和拋光的最高質量。該工具配備了振動傳感器、溫度和壓力監測器、泄漏檢測器以及塵埃處理資產。NML-3020模型適用於介電蝕刻、屏障蝕刻、金屬化、化學/機械拋光、背面研磨和拋光以及覆蓋面蝕刻等多種應用。該設備旨在為可靠的拋光和高產率提供最佳效果。