二手 NTS NSCL-1100 #293650742 待售
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NTS NSCL-1100晶圓研磨、研磨和拋光設備是為將先進技術應用於各種材料和應用而設計的。這套先進的系統提供高效、精確的平整度控制,最佳的表面光潔度,以及出色的表面均勻性和質量。NSCL-1100配備高精度、多軸數控控制器,定位分辨率為0.001 μ m。這使得研磨和研磨/拋光過程非常穩定和準確。先進的數控控制器還使操作員能夠輕松編程和設置表面粗糙度、研磨速度、進料速率等參數。NTS NSCL-1100的最大晶片直徑為11英寸,可研磨、研磨和拋光晶片,厚度可達1000 μ m。晶片加載到皮帶驅動的主軸上,該主軸在研磨和研磨/拋光階段旋轉晶片。NSCL-1100具有高性能真空裝置,可有效去除研磨介質和研磨/拋光漿料,從而形成清潔且無碎屑的表面。此外,該機器還與各種不同的研磨或拋光介質和漿料兼容,從而實現了最佳的工藝性能。NTS NSCL-1100采用重型鋁制框架,內部采用不銹鋼結構,所有部件均可防塵防塵。不銹鋼晶片盤用於晶片處理,冷卻器/加熱器罐用於冷卻或加熱磨料和研磨/拋光漿料。NSCL-1100還具有集成的主軸負載和壓力傳感器,可實現精確且可重復的研磨/拋光操作。NTS NSCL-1100是各種工藝的完美工具,從一級研磨/拋光到高精度晶圓研磨。憑借其先進的數控控制器、高效的真空工具以及多種研磨/拋光材料,NSCL-1100提供了卓越的性能和質量。
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