二手 NTS NSL-2020 #293765738 待售
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ID: 293765738
Lapping machine
Lapping plate: Φ510×Φ180 (IDxOD)
Ring size: Φ200xΦ162
Lapping plate: 20-150 RPM
Motor drive power: 2.2 kW, 220 V, 3 Phase
Water cooling temperature
Accessories:
Dust cover
Duct hood system
Precision variable multi-step pressure mechanism
Standard plate facing
Grooving system
Wafer thickness eccentricity prevention function: 2 µm
(2) Holder pneumatic pressures
Vacuum chuck type
(2) Holder motor drive systems
Oscillation system
Control: PLC and programming touch screen (HMI)
Consumables:
Copper: 20" x 1/2"
Ceramic conditioning ring NCR-103 for 20"
Diamond slurry roller pump drop system
Auto-stirrer
(2) Slurry tubes: 15 m
Facing bite radius: 60 x 0.3
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
NTS NSL-2020是一種創新的晶片研磨、研磨和拋光設備,非常適合大量或少量生產任何材料的晶片。該系統提供非常薄（低至5µm）和高質量的表面飾面。NSL-2020具有2軸數控功能,可自動控制主軸速度和工件定位,提供高精度和重復性。這提供了高度的靈活性和成本節省，當涉及到晶圓研磨，研磨和拋光。NTS NSL-2020配有冷卻液儲存器和過濾器單元，可有效冷卻晶片，從而保護晶片免受熱沖擊並確保其使用壽命。它還允許更加一致和可控的研磨和拋光過程。冷卻劑儲層和過濾器機還有助於保護研磨和拋光部件免受空氣中的研磨粉塵和其他汙染物的侵蝕。NSL-2020還配備了一個在線拋光復合進紙器，該進紙器以與研磨工藝相同的速率提供用於研磨、研磨和拋光的拋光化合物，確保在多個晶片上保持一致的光潔度。這種串聯進紙器還有助於減少整個過程的總周期時間。NTS NSL-2020還配備了高分辨率CCD攝像頭,可輕松準確地檢測細小缺陷。這有助於確保在研磨、研磨和拋光過程中的高質量控制。為防止晶片損壞和機器維護,NSL-2020隨附磨損監控工具。此資產定期檢查磨削和拋光元件的磨損,並自動將此數據下載到PC。NTS NSL-2020還配備了允許實時過程監控的PLC控制器。該控制器還允許用戶根據晶圓的特定要求修改和定制研磨、研磨和拋光輪廓。所有這些特性，加上高精度和精確度，使NSL-2020成為大規模生產和/或小批量生產任何材料晶片的理想解決方案。它還確保晶片的質量始終如一，缺陷最小，均勻度高。
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