二手 NTS SL510T-AFCLOM #293643166 待售

NTS SL510T-AFCLOM是專門為晶圓研磨、研磨和拋光而設計的專用設備。它是一種自動化的過程控制機器，能夠制造直徑從25毫米到150毫米的各種晶片。該系統配有真空處理站和自動卡盤，用於固定夾持晶片基板。它具有晶片基板的自動加載機構。機組還設有粗磨磨床、精磨磨床、拋光磨床。研磨站設有水平垂直可調卡盤。它可以處理各種厚度的晶片。研磨站使用鑲有金剛石的研磨盤從晶片中取出材料。磨盤可以調整以同時研磨晶片的兩側。研磨站配有石板研磨機和高精度指數機，保證晶片基板的均勻研磨。它可以同時處理單面和雙面研磨。研磨板裝有可互換的切削插件，用於達到理想的研磨光潔度。拋光站設有拋光臺和霧化拋光介質。它能夠同時研磨和拋光晶片的兩側。它可以同時處理單面和雙面拋光工藝。拋光介質霧化,保證晶片均勻拋光.該工具還包括用於調整速度、時間和壓力等工藝參數的高級控制資產。這確保了過程的一致性和可重復性。將自動監視和記錄所有參數,如果需要,可以從模型中檢索這些參數。SL510T-AFCLOM是一種功能強大、用途廣泛的機器，用於制造用於電子應用的晶圓基板。它是針對精度和可重復性進行優化的，能夠在最小的操作員幹預下實現高吞吐量。其緊湊的設計能夠融入小區域，設備為大容量晶圓研磨、研磨和拋光需求提供了完整的解決方案。