二手 NTS SL610T-AFCL #9158754 待售

NTS SL610T-AFCL晶圓研磨、研磨和國家測試系統拋光設備（NTS）是為半導體工業中先進的材料制備工藝而設計的。該系統由幾個主要部件組成，包括：磨盤、頂部晶片支架、底部晶片支架、磨料漿料儲存器、流體儲存器以及在研磨和拋光過程中氣動釋放的帶子來固定晶片。磨盤能夠同時研磨晶片的兩側與精細拋光級金剛石刀片。頂部和底部晶片持有者均勻地分配晶片上的壓力，以確保最小的失真。當晶片沿著旋轉圓盤移動時，泥漿儲存器提供滑動晶片所需的拋光介質。流體儲集層在晶片下方的圓盤上提供冷卻劑，以確保研磨過程中產生的熱量不會對晶片表面造成損害。氣動釋放的帶子在研磨和拋光循環中將晶片壓在研磨盤上，從而將晶片固定到位。該單元能夠在一個自動化的過程中對半導體晶片進行高效的研磨、研磨、刷刷和拋光,而無需任何人工幹預。研磨後，晶片可以通過電化學層的無電沈積返回到種子層。此外，通過使用所需的拋光漿料水平，機器產生高質量、低粗糙度的表面，從而消除表面的不規則性，創造出精細的成品。SL610T-AFCL允許自動晶片處理,從而節省時間和成本。它具有先進的控制系統，安全和可重復性的結果。它以非常精確的尺寸控制和+/-3 μ m精度來處理高達六英寸的晶片。該工具的各種靈敏度程序能夠精確研磨，研磨和拋光即使在易碎和困難的材料，如矽，砷和矽絕緣體（SOI）。