二手 NTS SP510T-AFCLOM #293643167 待售

NTS SP510T-AFCLOM是業界領先的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於在各種半導體材料上生產完美平坦的超齒表面。它能夠處理從150毫米（6英寸）到600mm （24英寸）的直徑。整個系統采用氣動操作，其模塊化設計允許靈活集成到生產線中。晶片由扁平模塊化載波支撐，可重新編程以適應不同的晶片形狀、厚度和大小。晶片放置在旋轉主軸上,而安裝的托架將每個磁盤保持固定位置,以避免在研磨過程中磁盤表面碎裂。頂輪和底輪固定晶片並驅動它通過兩個精密加工和對齊的同心圓。車輪壓力從0.03 MPa（4.3 psi）可調至0.15 MPa（21.8 psi）。SP510T-AFCLOM還具有橫向或垂直切割刀片,可用於消除表面的任何缺陷或不均勻部分。通過可調載流子自旋速率和磨料進料速率來控制材料從晶片邊緣的去除。該單元支持廣泛的研磨、研磨和拋光工藝，如扁平研磨、精細研磨、拋光和單級應用拋光。磨削速度可以0.01 μ m/min為增量控制,拋光力可從0.03 MPa （4.3 psi）調整為0.15 MPa （21.8 psi）。可以使用各種不同的顆粒和砂礫含量。此外,SP510T-AFCLOMcan最多可節省9個程序,每個程序最多10個步驟,從而提供生產效率和靈活性。這是通過設置過程通過觸摸屏顯示與用戶友好的圖形界面來實現的。最後,該機器可與PC集成,用於遠程操作和數據交換。NTS SP510T-AFCLOMwafer研磨、研磨和拋光工具是當今市場上最先進的產品之一。它非常適合要求在半導體材料上進行精確表面精加工的應用,從而能夠完美高效地生產平坦的超齒表面。