二手 NTT-AT ATP3000-XO1 #9282249 待售

NTT-AT ATP3000-XO1是一種晶片研磨、研磨和拋光設備，為制造半導體和MEMS器件提供精湛的晶片機械平面化。該系統設計可容納4至6英寸或8英寸晶圓，並采用專利雙軸直線電機驅動單元，提供亞微米精度和可重復性。集成的CNC控制器驅動機器,並具有功能齊全的用戶界面,允許對諸如進給速率、主軸速度和壓力等參數進行編程。刀具的自動研磨和研磨元件會自動調整，選擇進料速率、速度和壓力的最佳組合，以保證最終晶片表面質量和精度的均勻性。該資產設計采用固定和伺服控制的研磨和研磨板。固定板具有固定的設計,具有一致的物理屬性,而伺服控制板可以使用軟件進行調整以創建所需的研磨模式。該模型強大的驅動和控制系統,加上其最先進的電機控制,確保了不會損壞晶片的最佳研磨和拋光工藝。除了主要的研磨和拋光設備外，ATP3000-XO1還采用了集成的晶圓去核系統。這個除垢裝置使用特殊的工具和技術來有效地平滑晶片上的不均勻表面，而不會造成任何損壞或汙染。集成CNC控制的Deburring Machine還具有內置的刀具更換器，從而可以快速交換不同類型的Deburring刀具以獲得最佳效率。NTT-AT ATP3000-XO1采用全不銹鋼結構建造,在惡劣的操作環境中具有出色的耐用性。該設計還符合EMC在清潔室級別6中運行的標準。此外,該工具的設計既安靜又節能,可提供較低的總體擁有成本,而不會影響流程的性能。