二手 OKAMOTO ASM-100A #9143377 待售

岡本ASM-100A是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於去除微電子工業晶圓中的材料。它可以處理直徑可達150毫米、厚度可達11mm的晶圓尺寸。該系統包括六個工作站；研磨/拋光站、拋光墊站、手動研磨站、半自動研磨站、車輪準備站和後處理站。研磨/拋光站采用旋轉和線性運動，用金剛石研磨和拋光介質拋光晶片。它可以產生最小的翹曲或損壞的高精度表面。拋光墊站配有橡膠拋光墊，為準確可控的工藝提供自動化的平整度監控。這個工作站可以處理直徑達12英寸的晶片。手動磨床站配有高精度主軸，能夠用金剛石車輪梳妝臺進行手動磨削。該站可用於晶圓表面的精密研磨和去除汙染物。半自動研磨站能夠用金剛石研磨輪研磨拋光。它以高速運行，可以達到微米精度水平。車輪準備站設計用於修整砂輪和調整荷載參數，以獲得最佳效果。它可以準確地控制和監測敷料過程。最後，使用後處理站對晶片表面進行清潔吹氣，以達到均勻的光潔度。由於工作站具有高度的穩定性和控制性，該裝置具有很高的精確度和效率，能夠產生較低的缺陷率。由於其先進的拋光工藝，它還能夠產生高質量的光學表面。這臺機器具有高速處理和自動化功能,與手動處理相比,可以實現快速周轉和節省成本。