二手 OKAMOTO ASM-100A #9257632 待售
網址複製成功!
岡本ASM-100A是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於加工和拋光各種晶圓材料,如半導體、復合半導體和先進材料基板。該系統是一個高效、經濟高效的單元,用於使晶片達到高度精度的均勻平坦度。整個機器包括一個主單元和幾個獨立的加工站,可用於各種操作,包括工藝控制、研磨、對準、研磨和拋光。它可以處理3到8英寸不等的材料尺寸,並且能夠拋光厚度最高100微米的晶片。ASM-100A工具設計有多種特點,以適應精確研磨和拋光操作。它配備了精密直流(DC)電動機,提供了平穩、均勻的操作,不需要任何校準調整。此外,它還使用鐘形罐資產來防止晶片在加工過程中受到任何汙染,並使用自動研磨模型來確保均勻拋光。設備的磨盤由一個快速旋轉的金剛石鍍盤組成,該盤裝在可調速度控制器內。這使用戶能夠選擇所需的拋光速度,從20到1000 RPM,使用數字控制面板對其進行實時監控。此外,金剛石鍍層圓盤是動態平衡的,以確保在磨削和拋光過程中的高精度。研磨站由氣動驅動的研磨板組成,旨在通過拋光顆粒來降低基板表面粗糙度。拋光站由一個行星般的拋光頭組成,上面裝有一個被稱為拋光器的高性能設備。這種設計的設備設計為在拋光的同時向兩個方向旋轉,使拋光效果均勻準確,變化最小。OKAMOTO ASM-100A旨在提供靈活而強大的流程,旨在滿足嚴格的客戶規格要求。該系統旨在滿足嚴格的公差要求,為用戶提供高質量的結果和性能。其功能範圍允許晶圓的精密拋光,具有靈活的工藝設置,以適應廣泛的應用。
還沒有評論