二手 OKAMOTO ASM 1G #9258192 待售

OKAMOTO ASM 1G是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於完成和準備晶圓表面，用於後續的工藝步驟。該系統提供了廣泛的功能,使制造商能夠創建高質量的曲面。該單元專為高吞吐量和多功能性而設計，使其能夠處理廣泛的晶圓取向，包括直徑4英寸和8英寸的晶圓。它還能夠單面或雙面研磨，以及雙面研磨和拋光。該機采用高效OKAMOTO研磨裝置，運行速度高達30,000 rpm。磨削單元采用高性能機電工具，由變頻器驅動，並提供振動效應的自補。將設備封閉在單個機櫃中,以確保研磨過程的受控環境。研磨和拋光過程由專用研磨單元執行，該單元是一種三級環拋光車。產品會自動從一個階段移動到另一個階段,並且可以設置參數以實現所需的表面光潔度。該裝置采用高密度電鍍解決方案，由內置泵資產分配，並封閉在一個機櫃中，以維持受控環境。ASM 1G還包括一個負載/卸載站，允許晶片直接加載到模型中。裝卸站配備了多項安全功能，確保人員安全和過程的準確性。OKAMOTO ASM 1G是一款先進、高性能的設備，能夠在晶片上實現卓越的表面質量，具有高吞吐量和一致的效果。通過高速研磨、研磨和拋光相結合，能夠提供先進半導體生產技術所需的表面光潔度。