二手 OKAMOTO ASM-420M #9216418 待售

OKAMOTO ASM-420M是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計成作為一個完整的、自動化的解決方案。該系統配有一個雙主軸，每個主軸都能處理直徑達八英寸的晶圓。這兩個主軸提供了對磨床和拋光機操作的獨立控制，允許精確的表面整理結果。該單元被編程為自動校準自身以獲得最佳流程和生產率，從而減少編程時間。磨削和拋光是通過將晶片放在支架上並將其固定在主軸支架上來實現的。放置晶片後,進行間隙和接觸檢測以測量表面輪廓和缺陷。磨削過程由位於每個主軸上的兩個磨輪實現。主軸具有線性加速度和減速度，可調節，以確保晶圓的精確研磨。拋光過程通過位於垂直軸上的零件更換拋光器完成。這允許拋光墊以圓周運動向上、向下和橫向移動。然後將晶片經過研磨和拋光後轉移到後端。該模塊由晶圓脫熔機和可選的後處理模塊組成。脫膠工具使用旋轉刷子和化學溶液從表面清除最後殘留的汙染物。後處理模塊用於通過化學手段進行檢查和調整表面粗糙度。整個工作流程由工藝監控資產監控和管理,該資產用於測量和記錄研磨和拋光溫度、間隙和接觸。該模型提供對工藝參數的完全控制，允許處理大量晶片，同時保持一致的質量。ASM-420M是晶圓研磨、研磨和拋光的高效解決方案,具有卓越的靈活性和可擴展性。它的高級性能和過程控制確保了可靠和可重復的結果,而它的自動化操作允許減少設置和編程時間。