二手 OKAMOTO GNX 300 #9136113 待售

OKAMOTO GNX 300是為半導體制造工藝而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統具有堅固的結構、精密機械和先進的控制單元，可生產光滑、平整、均勻的晶片表面。OKAMOTO GNX300包括具有閉環控制的高精度主軸電機,用於精確的晶圓定位。這種電動機可以更好地控制表面研磨過程，產生高度表面平滑和均勻的300 mm晶圓的能力。主軸電機能夠產生高達12Nm的扭矩,轉速高達6000 RPM。再者，由於精確的閉環控制，機器也能在多次通過中保持高精度，減少表面不規則，產生更好的效果。此外,GNX-300還包括單面和雙面研磨系統。這允許晶圓邊緣和表面的研磨，提供優越的表面平面化和均勻性。該工具能夠達到非常精細的研磨效果，表面飾面高達0.3 µm RA。該機制還允許高速處理，以減少設置和循環時間，同時提供一致的晶圓結果。GNX 300還包括拋光資產，其中包括雙皮帶拋光。這提供了以均勻結果同時拋光晶片兩側的能力。拋光模型可實現晶圓表面微細光潔度，達到1nm表面粗糙度。最後，OKAMOTO GNX-300擁有具有多種工藝配方和工藝監控能力的先進控制設備。這為研磨、研磨和拋光提供了靈活可靠的精密工藝控制.系統還有一個直觀的用戶界面，允許操作員提高設備的工藝效率，並確保各種晶圓類型和尺寸的結果一致。綜上所述,GNX300提供了全面的晶圓研磨、研磨和拋光機,可提供高精度功能、高級控制功能和堅固的結構,從而提高工藝可靠性和性能。該工具非常適合於半導體生產過程，使晶圓加工的復雜過程無憂。此外，OKAMOTO GNX 300能夠以更高的精度和更高的輸出產生高質量的結果。