二手 OKAMOTO PSG-408DXNCZ #9395045 待售

OKAMOTO PSG-408DXNCZ
ID: 9395045
Surface grinder.
岡本PSG-408DXNCZ是一種全自動、最先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統。采用最新的磨料技術,設計為各類半導體、平板、顯示屏等精密玻璃基板提供均勻、精確的研磨。它具有1納米(nm)的表面粗糙度Ra值和8英寸(203.2毫米)的最大晶圓尺寸。該系統配備了全自動裝載機/卸載機伺服驅動器、八個獨立的研磨/拋光站、兩個激進的研磨站和兩個拋光模塊。專用伺服驅動器允許以最小的噪音水平平穩運行。八個研磨/拋光站的設計目的是為研磨和拋光提供高精度和精確度。這兩個具有侵略性的研磨站旨在通過使用金剛石浸漬的磨料膜來制備玻璃基板。拋光模組旨在減少玻璃基板上的表面粗糙度,同時實現高精度和優異的重復性。此外,PSG-408DXNCZ可以與各種數據采集系統集成,包括數據采集包、連接性和基於Windows的圖形用戶界面。通過此界面,用戶可以訪問實時性能、過程控制和反饋。操作員可以創建自定義的過程程序以在系統之間共享,以及自動存儲、檢索和比較研磨和拋光結果。微處理器控制的晶閘管和固態壓力控制模塊對研磨/拋光材料保持恒定壓力,確保最高的研磨/拋光速率和最一致的結果。使用觸摸屏參數可以調整各個工藝參數,以達到最佳的重復性和精密研磨/拋光效果。全自動系統能夠單批和串聯處理多達400個晶圓。此外,所有過程結果都會自動存儲,以供將來參考和統計分析。OKAMOTO PSG-408DXNCZ的先進設計和制造使其成為精密研磨和拋光幾乎所有類型玻璃基板的理想選擇。
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