二手 OKAMOTO PSG155DX #9375274 待售
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ID: 9375274
Surface grinding machine
Chuck size: 1500 x 500 mm
Electromagnetic chuck
Water injection tank with separator.
岡本PSG155DX是為高精度晶圓加工而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統提供精確的磨料加工,並生產出滿足苛刻要求的卓越扁平晶片,其平整度和表面光潔度可消除昂貴的返工或報廢。本機由磨削、研磨和拋光三個基本加工單元組成,每個單元都有自己的冗余能力,以確保結果一致。磨削單元配備了兩個變速主軸,每個主軸都有獨立調節的轉速,允許精密選擇飾面,範圍從非定向的無光表面到超光滑的光學質量。主軸還具有載荷傳感器,用於監視和響應加工過程中工件的變化。研磨單元是單元的心臟,由兩個獨立的裝載機和拋光機組成,在整個工作周期中運動平穩。每個拋光器有兩個板,一個用於磨料拋光,一個用於光滑的表面光潔度。研磨板施加的壓力是可調的,允許控制高精度工作所需的公差。板材采用耐用聚酰亞胺制成,可用於不同的磨料尺寸。最後,拋光單元允許高表面光潔度,考慮到被加工材料的獨特特性。各種磨料可用於拋光,允許定制設置,以達到最佳水平的表面光滑和清晰度。該單元還具有負載傳感器來監視工件的變化,從而可以更精確地控制負載和角度。總之,PSG155DX是一種發達、先進的研磨、研磨和拋光機,旨在提供卓越的性能。這臺機器具有最先進的電機、傳感器和材料,可確保在廣泛的晶圓處理應用中獲得最佳性能和準確的結果。該工具具有多種多樣的處理能力,將有助於獲得盡可能高質量的結果。
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