二手 OKAMOTO SPP-600S #9078428 待售

OKAMOTO SPP-600S是一種幾何控制的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體晶圓和其他薄膜材料的平面加工。該系統將精密的微磨、研磨和拋光工藝結合成一個單一的自動化單元，以生產超平、高拋光的晶片，具有極其緊密的平坦度公差。利用SPP-600S、晶圓研磨、研磨和拋光工藝，由CCD攝像機進行精確控制，並自動調整工作臺。這種均勻性控制機器能夠根據晶片的類型以及所使用的研磨和拋光條件，保持非常緊湊的σ-平坦度.2 μ m或更高。自動晶片分離器確保研磨和拋光力均勻分布，產生非常均勻和一致的結果。該工具采用復雜的過程控制和監控資產設計,利用基於PC的專用軟件程序來控制關鍵參數,如刀具速度、金剛石濃度、操作壓力、溫度等。此控制功能使操作員能夠準確、輕松地設置各種特定於產品的工藝配方,然後以一致且可重復的輸出結果進行維護。OKAMOTO SPP-600S上的研磨/研磨工藝能夠清除大量缺陷部位，包括微米大小的顆粒和汙染物，從而實現更好的表面光潔度。該模型可以加工單層或多種底物，包括多晶矽和單晶材料。此外，該設備還提供自動晶片夾緊、晶片檢查和除去-andreplace操作，以及一個自動清洗系統，以快速有效地清除研磨盤上的碎屑。SPP-600S是為了滿足半導體制造和研究應用的苛刻要求而設計的，在這些應用中需要超平、高拋光的晶片。它的自動化過程控制單元和精密研磨、研磨和拋光過程使機器能夠產生優異的效果，具有極其緊密的平坦公差。OKAMOTO SPP-600S生產和研究設施的理想選擇。