二手 OKAMOTO SVG 502 MK II 8 #293586498 待售
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OKAMOTO SVG 502 MK II 8是最先進的全自動晶圓研磨、研磨及拋光設備。這種高效可靠的系統旨在在各種晶片上提供極其精確的表面光潔度。它具有先進的精度、精確度和可重復性,是超高性能生產應用的完美解決方案。該單元設有一個全封閉的研磨室，裏面裝有兩個獨立的晶圓載體。載波為線性X級和Y級，由精密高速無刷伺服電動機驅動，可實現無振動操作。這臺機器的工作面積為397mm x 397mm,能夠處理直徑不超過200 mm的單個晶片,最大研磨面積為130mm。直觀的觸摸屏顯示器允許快速設置更改並確保高生產可靠性。OKAMOTO SVG 502還具有廣泛的研磨、研磨和拋光工藝，使其適合各種晶圓。主軸組件配有強大的4kW主軸電機，可提供最大的研磨效率和工藝一致性。為了加強工藝控制，可選的「時間壓力」控制工具將施加在晶片上的壓力與研磨時間聯系起來。此資產允許穩定的晶圓生產率適合特定的應用程序。OKAMOTO SVG 502包含了一個集成的自動晶片加載模型。加載設備允許快速設置和重新加載更改。該系統還包括一個真空裝載板，將研磨/拋光工藝與空氣汙染隔離開來，確保清潔生產。為了額外的安全和可靠性，該單元包括一系列的聯鎖和警報。這些聯鎖裝置可以感知工作區域內人員的存在，並在不遵守安全協議的情況下關閉機器。OKAMOTO SVG 502建在可靠耐用的平臺上，確保生產一致和長期可靠。
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