二手 OKAMOTO SVG 502 MK II 8 #293616605 待售

OKAMOTO SVG 502 MK II 8是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於處理直徑達200毫米的基材尺寸。該系統的特點是具有12,000 rpm的高精度平磨主軸和6,000 rpm的單圈主軸。該單元具有單程和雙程研磨功能,允許同時生產平坦和高縱橫比曲面。該機共包括四個研磨/拋光和研磨站。其中兩個工作站配置了可編程粗磨模塊，用於晶圓表面的路線研磨。另外兩個站采用精密拋光板，用於晶片邊緣精加工和精磨。所有四個站都有高度精確的機械、熱和空氣冷卻系統，以提高精度和生產一致性。該工具還包括一個9軸機器人自動化中心，具有2軸垂直運動、4軸炮塔運動、1軸俯仰調節和2軸振蕩控制。機器人自動化中心允許無監督的制造過程，而采用集成電子控制單元（ECU）來監控和控制所有機器功能，如主軸速度、螺距、位置和研磨等。該資產采用易於使用的基於PC的用戶界面,能夠控制所有4個研磨/拋光和研磨站,並且與Windows、Linux和Mac操作系統兼容。用戶界面提供了一系列可供用戶使用的編程設置,包括機器人輔助的零件拾取和放置、表面精加工、邊舍入、填充拋光等。OKAMOTO SVG 502 MKII 8是一種高效、精確的晶圓研磨、研磨和拋光模型,非常適合您最苛刻的晶圓基材需求。它具有高精度研磨和研磨元件、直觀的用戶界面以及滿足苛刻工藝參數的先進自動化設備。它旨在提供盡可能高質量的晶圓基材材料。