二手 OKAMOTO SVG 502 #9158759 待售

OKAMOTO SVG 502是由OKAMOTO Corporation製造的高性能晶圓研磨、研磨及拋光系統。該系統旨在提供大直徑硬質和軟質材料的超精確加工。SVG 502能夠處理兩英寸和四英寸晶圓。高質量的主軸保證了晶片表面的精度，這種主軸具有極高的精度和可重復性。OKAMOTO SVG 502的機械設計使其適合於激烈的研磨和拋光活動。它具有堅固的Castiron底座和鋼覆蓋組件，長期可靠。主軸由具有內置扭矩矢量能力的30千瓦直驅電動機驅動。100 mm離置時的最大研磨速度為13,200 rpm，加速度為2,200 rpm/s。機器通過易於使用的觸摸屏界面操作，該界面具有圖形用戶界面和內置配方編輯功能。SVG 502使用OKAMOTO專有的DAF技術（Diamond Marrasive Film）進行晶圓處理。DAF是一種磨料膜系統，用於實現對硬質材料的超精密加工。該DAF組件包括一個去毛刺金剛石磨料片和一張紙。使用的紙張數量取決於要加工的材料和晶圓的直徑。切削後,紙張會從基板上移除,並在達到所需結果時換成新的紙張。DAF片安裝在晶圓磨輪上,該輪以確定的速度轉動。對RPM和負載進行了精心監控,以達到所需的精度水平。研磨和拋光階段用於創建光滑的表面光潔度。研磨、研磨和拋光階段按順序進行。該工藝在晶片表面上產生小漿料，以便在最後一步被拋光階段除去。整個過程由一系列不同的步驟組成，所有這些步驟都是高度準確和高度可重復的。OKAMOTO SVG 502的高精度、高重復性使得它非常適合於非常大直徑晶片的制造。最終結果是晶片表面光滑均勻，保證了良好的密封完整性。