二手 OKAMOTO VG 502 MK II #293594531 待售
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OKAMOTO VG 502 MK II是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供各種基材的精密拋光。該系統由拋光臂、微米、研磨板和拋光漿液組成。拋光臂支撐金剛石磨輪和拋光布,允許磨削和拋光6英寸和8英寸晶圓,最大直徑12英寸。可調微米可確保精確定位,並能在拋光操作中對磨輪和拋光布的位置進行精確的精細規模控制。研磨板具有極平坦的表面和凹槽,以確保車輪的最小磨損和拋光工藝的最大效率。凹槽還提供拋光布和晶圓之間的穩定接觸表面,從而形成均勻、光滑的光潔度。拋光漿起到潤滑劑和磨料的作用,提供均勻的表面光潔度。拋光漿料有中等和精細兩種等級,允許晶圓上有不同的光潔度。OKAMOTO VG 502 MKII在研磨和拋光操作中利用真空卡盤來固定和固定晶片。真空卡盤由高強度聚氨酯圓盤組成,可最大程度地與晶片接觸,防止打滑。真空卡盤還能確保晶片的安全,防止晶片在研磨和拋光過程中移動。這臺機器設計用於手動或自動模式的操作。在手動模式下,進給速率、車輪速度、拋光時間、拋光壓力等參數都需要手動設置。自動模式允許使用預設程序,並且非常適合生產運行,因為它提高了精度並減少了更改參數所花費的時間。VG 502 MK II具有旨在防止機器意外激活的安全互鎖單元。此外,如果超出操作參數,則會激活警報,以防止晶圓以及磨削和拋光工具本身受到損壞。VG 502 MKII還配有一系列配件,如防塵罩和空氣過濾器,以確保晶圓和磨削拋光資產在操作過程中保持清潔。它還包括水冷磨輪、冷卻劑以及研磨布和濾盤,以確保研磨和拋光過程盡可能保持涼爽。OKAMOTO VG 502 MK II是一款頂級、精密晶圓研磨、研磨拋光的車型,非常適合各種基材的高端、精密拋光。該設備的設計、制造和測試符合最高標準,它提供了研磨和拋光工藝的可靠性、準確性和可重復性。OKAMOTO VG 502 MKII憑借其先進的特性和配件,非常適合對藍寶石、矽等最具挑戰性的基材進行研磨和拋光。
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