二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #293804366 待售

OKAMOTO VG 502 MKII 8是為半導體制造而設計的晶圓研磨、研磨及拋光設備。適用於處理直徑8英寸（200毫米）的多層半導體晶片。系統配備了一個8英寸的磨輪和兩個8英寸的Bob Gust Type研磨輥。磨輪具有可調的工件速度,射程為0-30米/秒,而研磨輥的工作速度高達6米/秒。該單元有一個3軸級和一個用於精確去除物料的電動高程機。OKAMOTO VG-502 MKII 8利用單線電動機實現高速精確定位。該刀具的最大加速度為4500毫米/秒2，在X-Y平面的可重復性為0.02 μ m。工作面積140 x 140毫米，移動範圍1150 x 2550毫米。該資產配備了多種流程監控功能,以確保最佳性能。該模型監測表面質量、振動、車輪速度、車輪直徑、車輪壓力水平、車輪頭溫度和壓力、表面形狀和晶圓偏心率。該設備設計有一個多頭裝載設施，能夠同時處理多達八個晶圓。直流電機和齒輪機構確保車輪頭的平穩旋轉。VG 502 MK II 8具有易於使用的圖形用戶界面來編程不同的參數和過程步驟。該系統配有基於PLC的控制電路，用於設置砂輪轉速、進料速率和車輪壓力等參數。該裝置能夠進行快速、精確的晶圓研磨、研磨和拋光操作。它與一個可選的原位清洗機可用於保持砂輪清潔。該工具需要最少的維護,並包括內置的安全功能,以保護用戶不會意外接觸磨輪。