二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #9036371 待售
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OKAMOTO VG 502 MKII 8是製造商OKAMOTO生產的晶圓研磨、研磨及拋光設備。該系統能夠在單個階段研磨、拋光和研磨直徑達8英寸的晶片。OKAMOTO VG-502 MKII 8設計用於研磨、研磨和拋光一系列矽片和基板。該單元包括兩個獨立的主軸,一個研磨主軸和一個研磨主軸,每一個都有一個電機和精密控制。研磨主軸可以精確控制研磨力,在工藝開發過程中具有廣泛的可能性。研磨主軸利用兩個獨立的機動化磁盤來實現更精細的光潔度。兩個主軸都能向前和反向旋轉,在過程中提供精確的控制。機器由主單元、工作臺和集成控制工具組成。主力部隊內裝有四個坦克,可用於儲存和流通化學品,以應付清潔和蝕刻等後處理需求。工作臺由具有掃描頭的X-Y軸工作臺、3軸數字顯示屏和用於在處理過程中控制樣品溫度的冷卻水套組成。綜合控制資產允許對流程進行精確的編程和控制。該機設計得極為緊湊,空間效率極高,允許操作員在生產線附近設置。這減少了對樣品的手動處理以及移動細膩部件可能造成的潛在損壞。該模型的控制簡單直觀,允許快速、輕松的設置和操作。VG 502 MK II 8在晶圓研磨、研磨、拋光方面設定了新的標準。其緊湊的設計和精密的控制系統使其成為可用於處理晶圓級過程的最先進的系統之一。這種設備有助於最大限度地提高生產效率,確保晶圓加工質量。
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