二手 OKAMOTO VG 502 #9408618 待售

OKAMOTO VG 502是為生產高級半導體器件和材料而設計的先進晶圓研磨、研磨、拋光設備。它整合了CMP、研磨、拋光技術的原理，提供了一個既適合大批量生產又適合研發的生產平臺。它采用頂置主軸伺服驅動系統，將磨輪轉速設置為精確，從而保證了卓越的精度和卓越的質量。OKAMOTO VG-502還提供各種砂礫材料的砂輪選擇,以適應不同的要求。該單元可以處理不同尺寸和材料的晶片，包括矽、的、III-V化合物和GaAs化合物。這是通過其可移動拋光卡盤實現的，該卡盤可同時容納8個8「或12個4」晶片，並且可調節以容納不同大小和形狀的晶片。晶片以一定角度和恒定反饋回路通過磨輪，測量磨削的均勻性，自動調整磨削參數，提高精度。該機配備了先進的差分研磨技術，使研磨板可以以均勻連續的磨料顆粒流動進料。然後在研磨區域內進行差分研磨，以改善表面粗糙度、平坦度和平行性。此外，VG 502能夠進行全局研磨，從而使整個晶片的研磨一次完成，而不會損壞邊緣。整個工具由中央控制單元控制。該資產還配備了溫控液體潤滑模型，以確保晶圓溫度均勻，提高工藝精度。此外,可調節的冷卻設備允許系統改變冷卻速率,並實時監控工藝參數。這些特性對於確保更高的工藝穩定性和對晶片的最小損害至關重要。VG-502是終極研磨、研磨、拋光裝置，提供極其準確可靠的結果。其廣泛的工藝參數、可調的冷卻速率和專用潤滑機，使其成為高端應用的首選。