二手 OPTIPRO UFF #9161017 待售
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OPTIPRO UFF是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足當今半導體行業的嚴格要求。該機器允許對各種各樣的晶片進行精確和高效的處理,從矽等低K值的晶片到砷化的高K值的晶片。該系統集成了最新的數控研磨、研磨和拋光技術,提供不折不扣的性能、可重復性和可靠性。該設備的研磨級采用了一個專門為研磨晶片而設計的5軸CNC主軸頂端。可以調整主軸的迎角和速度,以確保均勻準確的研磨。主軸還配備了金剛石浸漬磨輪,實現了微尺度的粗加工和精加工效果。這種集成的研磨技術允許對微結構表面進行更快、更精確的研磨。研磨過程采用CNC雙頭圈式機器,最多有十二個單獨調節的研磨段,以獲得一致的、可重復的結果。研磨頭具有高速轉速(高達24,000 RPM)和大行程範圍(高達2毫米),用於優化晶圓表面不變性。研磨工具還包含壓力控制資產,用於在晶圓表面上實現均勻的拉力,從而確保一致和可靠的結果。拋光階段采用氣動驅動的磨削/拋光頭,以達到盡可能高的表面質量。磨削/拋光頭具有較大的沖程範圍(最大5毫米)、高速轉速(最大72,000 RPM)和氣動控制的壓力模型,用於出色的材料去除和拋光。此外,設備還包括最先進的光導拋光系統,允許在研磨/拋光過程中實時基於圖像的反饋。UFF還采用了Autococker,這是一種獨特的機器人技術,能夠準確控制整個研磨、研磨和拋光過程。Autococker消除了過程變量,並確保了一致和可重復的結果。基於激光的視覺單元允許自動晶片識別和定向,機械臂配備先進的抓握技術,用於精確和安全的晶片傳輸。除了Autococker技術之外,OPTIPRO UFF還包括了一些關鍵的特定於應用的部件,如金剛石粘貼支架、金剛石潤滑劑和晶圓載體。這些組件允許優化晶圓研磨、研磨和拋光結果。UFF旨在滿足當今半導體行業嚴謹的工作環境需求。它提供了一個安全的工作環境,低工藝噪音和低總體功耗。該機易於使用,也是服務友好,得益於其流線型的設計和維護集成特性。OPTIPRO UFF是一種用於創建最優質晶圓表面的可靠且經濟高效的機器。
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