二手 OPTOTECH ASM 60 Twin Cut #293591890 待售
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OPTOTECH ASM 60 Twin Cut是一款晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足半導體行業的精密要求。該系統采用雙切削工藝,將全磨損切削的柔韌性與研磨工藝的速度相結合。磨削和研磨步驟結合成一個單一的工藝階段,得到了優異的表面光潔度和較高的材料去除率。該裝置能夠實現較高的材料去除率,而不會過度磨損磨削工具,以及微粒產生。機器可以處理任何6至150毫米大小的晶圓,重量容量為10公斤,擺動角度可達+/-180。它具有可單獨調節的平臺布置、自動化的刀具轉換以及高度敏感的平移軸控制機器。該機還配備了冷卻水供應、排塵出口、樣品收集容器和遠程診斷控制端口。雙切削工藝是一種高效且用途廣泛的工藝,可實現精確的表面光潔度和高的材料去除率。它采用兩步研磨操作,兩個研磨盤交替向兩個方向研磨晶片。這種方法使磨削更加均勻,縮短了加工時間,提高了生產率,改善了表面光潔度,降低了磨削力。ASM 60 Twin Cut使用具有高彈性的SiC磨料,確保晶圓表面的均勻、高精度研磨。這一過程還配備了主動清洗和冷卻,以保護先前加工過的工件免受後續研磨產生的碎屑的影響。研磨過程采用先進的氣流工具進行,以確保晶圓表面的高精度、過程安全的環境。該資產還具有先進的自動化裝卸模型,該模型與研磨工藝集成在一起。這是一種高效的搬運設備,已被證明可以大大減少裝卸時間。ASM 60還可以與其他自動化設備集成,以進一步減少人類參與,從而縮短周期時間,提高結果質量。OPTOTECH ASM 60 Twin Cut為實現高精度研磨應用提供了高效、經濟高效的方法。它旨在滿足半導體行業的苛刻需求,在高生產環境中提供卓越的吞吐量和成本節約。
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