二手 OPTOTECH ASM 80 #9198173 待售

OPTOTECH ASM 80是為制造各種半導體器件而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它配有一個半導體研磨單元和一個用於拋光指定基板的三軸表。該研磨單元采用金剛石輪和高精度伺服驅動，能夠對復雜形狀和平面進行精密研磨，並以最小限度的材料去除。研磨過程采用金剛石和膠體漿料以及鋒利的氧化鋁漿料組合進行，以幫助加速該過程。氧化鋁漿料有助於在基質上產生納米級飾面，而金剛石漿料則可產生高產產量。ASM 80拋光站設有兩個拋光頭，與兩個獨立的金剛石控制器相連。每個拋光頭都有一個機械臂和一個特殊的墊架，能夠精確定位和速度控制。控制器還具有自動對焦控制系統、基板保護單元、接觸角調節機等內置功能。使用自動拋光程序可以精確控制經過的時間和控制拋光的參數的精確設置。該程序還允許調整接觸角和墊與基板之間的壓力。OPTOTECH ASM 80設有內建厚膜再生站，可達到精確的基板厚度達0.2毫米。再生站有可調節的速度、壓力和磨料設置，以及一個特殊的壓力釋放工具，有助於保護精致的基板。最後，ASM 80能夠進行拋光後測量，包括使用近場光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡測量基板平坦度和表面紋理的能力。該資產還能夠現場測量基板和拋光墊之間的接觸角度。總體而言,OPTOTECH ASM 80是一款用途廣泛、用戶友好的晶圓研磨、研磨和拋光模型,具有高精度性能,非常適合在半導體器件制造行業中提供卓越的質量結果。