二手 OPTOTECH ASP 80 DMT #293651482 待售

OPTOTECH ASP 80 DMT是一種全自動、可編程的設備，設計用於高性能、高純度半導體和光學器件的精密晶圓研磨、研磨和拋光。該系統用於制備尺寸、形狀和表面光潔度合適的基材，且浪費最少。該單元結合了精密研磨研磨單元、拋光單元和集成控制機器，使研磨和拋光過程完全自動化。該工藝的研磨階段從高精度機器人開始，該機器人使用金剛石研磨輪將基板直徑減小到要求的尺寸和形狀。機器人配置為確保均勻的研磨模式和最小的表面粗糙度。接著是一個研磨單元：在這裏，一個磁力驅動的精密工作臺旋轉基板，而該工作臺同時進料金剛石懸浮液供應磨削和拋光過程。這確保了均勻、超平坦的基板表面。拋光階段涉及高精度拋光單元。該裝置配有磨料刷子，結合振蕩特性，有助於提供均勻拋光，同時減少熱量產生和表面損傷。該單元還設計為允許用戶對拋光參數進行編程並獲得最佳的表面輪廓。該工具進一步配備了帶有計算機接口和數字面板的集成控制器。控制器確保研磨、研磨和拋光過程可以編程，而計算機界面允許用戶創建和修改配方。數字面板使用戶能夠檢查當前使用的配方並相應調整參數。總體而言,ASP 80 DMT是一種用途廣泛的資產,可提供晶圓的精確研磨、研磨和拋光。該模型適用於包括半導體、光學和MEMS器件在內的多種基板的研磨和拋光。它還針對中型至大型生產環境進行了優化,為用戶提供了最大的靈活性和對研磨及拋光工藝的控制。