二手 PETER WOLTERS AL3P #9003984 待售

PETER WOLTERS AL3P是一種專門設計用於現代半導體制造設施的自動晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統的設計目的是為大規模生產以及直徑達200毫米的小批量晶片提供高效率和生產率。該單元中的各種組件設計為易於集成到現有或新的生產線中。該機包括一個龍門式Y軸單元、一個C軸旋轉臺、一個拋光站、一個研磨站和一個研磨站。Y軸單元由一個堅固的托架和循環球形螺釘組成,可提供高達200m/min的快速移動速度。集成的C軸旋轉表提供了超過+/-0.03度旋轉的高精度和可重復性。夾緊晶片,然後用主軸驅動器固定。研磨站采用與PLC控制器集成的主軸傳動裝置，以預設的研磨參數進行精密研磨。研磨站完全自動化，與PLC控制器集成，在研磨控制過程中精度準確。還嵌入了一個原位溫度控制工具，用於與PLC控制器進行溫度監測，以確保均勻的研磨結果。拋光站由多達四個拋光頭組成，由高性能無刷電動機提供動力，提供均勻的拋光運動，平均位置精度為+/-1um。這一強大而高效的資產還與可選的願景模型集成在一起,從而實現了生產的靈活性。設備配有PC工作站，具有用戶友好的軟件界面，便於查看生產數據、監控生產程序和將數據導出到Excel紙張。總體而言,AL3P系統高效、可靠且用戶友好,旨在最大程度地提高制造工廠的生產率,同時提供最佳且一致的晶圓研磨、研磨和拋光效果。