二手 RETRONIX 4520 #293616013 待售
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RETRONIX 4520專為晶圓的大批量生產而設計。它是一種完全集成的、多任務的晶片研磨、研磨和拋光設備,對於精密晶片邊緣研磨、表面研磨和化學機械拋光至關重要。這種設備能夠為各種尺寸的標準晶片(包括圓形和矩形晶片)稀釋和均勻研磨高度自動化的工藝。在4520晶圓研磨的核心,研磨拋光系統是其強大的5軸機械臂和可定制的運動控制技術。它實現了一致的高通量生產,並取得了優異的效果,例如卓越的表面光潔度和縮短的周期時間。RETRONIX 4520可容納範圍廣泛的晶圓直徑和厚度,以及用於大批量生產運行的形狀晶圓。磨削過程利用定制設計的金剛石車輪有效地降低了特征高度,而專用的研磨室則設計成精確地(4 μ米)圈住基板。拋光階段采用專門的枕墊機械拋光墊結合漿料和磨料。所產生的高表面質量和均勻性允許廣泛的應用。4520裝有熱研磨裝置,能夠控制研磨階段和研磨階段的溫度,以提高圖樣保真度和減少邊緣圓角。結合其化學機械拋光機,提高了晶圓的平整度和關鍵特征的可重復性。這使其成為晶圓制造商的寶貴資產-節省成本、提高產量和縮短上市時間。RETRONIX 4520提供了與基於Windows的用戶界面的全流程集成。此功能強大的軟件包允許用戶訪問大量參數,使其完全可定制到應用程序。它還允許用戶輕松存儲和檢索食譜,而集成的食譜編輯器可實現快速、輕松的食譜修改。總體而言,4520是晶圓生產操作的重要補充,它提供了高度自動化、可重復和精確的研磨、研磨和拋光過程-使所有生產運行都能實現均勻、光滑的表面和高表面質量。
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