二手 ROYAL MASTER TG-12x3 #293829276 待售

ROYAL MASTER TG-12x3晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種精密研磨、研磨和拋光機,旨在為各種半導體和微電子器件在晶圓上產生極其平坦的表面。系統可處理直徑達12英寸、厚度達3mm的晶片。該機組配備了堅固、重型的研磨主軸和水冷研磨頭，可實現晶圓的高速、高精度研磨。研磨主軸安裝在堅固的直線軸承導軌機上，能夠在三個軸上精確移動。直線軸承導軌工具由伺服電動機驅動，提供高精度定位和可重復性。資產的研磨部件具有一個帶有真空卡盤的雙面軸架來固定晶圓，允許在兩個軸上精確移動。真空卡盤橫向安裝在直線軸承導軌模型上，以實現沿X軸和Y軸的精密調整。研磨由水冷金剛石圈盤處理。研磨盤安裝在伺服驅動的橫向級，提供了研磨盤堅固而精確的運動，使得晶圓表面非常精確的平面化。晶片的拋光采用雙拋光頭設計，中間有精密的調平設備。這樣可以消除任何邊緣舍入,並確保晶圓表面非常平坦。拋光頭配有水冷特性，有助於確保晶片部分在拋光過程中保持均勻均勻。該系統安裝在潔凈室內，並連接到一個獨立的水過濾單元，以確保清潔、無碎屑的水用於研磨、研磨和拋光過程。這臺機器還配備了自動晶片處理工具，可以加載和卸載晶片，從而使資產在潔凈室環境中易於安全運行。TG-12x3晶片研磨、研磨和拋光模型是為快速、易於設置和全過程可重復性而設計的。憑借其先進的特點，該設備能夠為各種半導體和微電子器件在晶片上產生極其平坦的表面。