二手 SATISLOH Auto-Flex #9402192 待售

SATISLOH Auto-Flex是一種超精密研磨、研磨、拋光薄晶圓的先進系統。它是一個由高精度和用戶友好的軟件和硬件組件組成的自動化晶圓處理平臺,旨在實現卓越的性能和可靠性。特別是專為精密應用的高級過程控制而設計。Auto-Flex的主要特點是Smart Lap，這是一款集成了智能先進工藝控制的晶圓研磨機。它提供了晶片和研磨板之間接觸力的精確控制，允許重復和一致的結果。此外,Smart Lap還提供手動或自動化晶片清洗和晶片加載,以及過程監控功能。此外，該系統還提供了一系列研磨能力。它提供精確的工藝控制和完整的研磨工藝範圍，包括粗磨、全面或選擇性研磨以及拋光。采用高精度磨盤和陶瓷，達到所需的表面光潔度和精度。通過使用視覺站，實時監測研磨和拋光結果，提供工藝和表面質量控制。硬件、軟件和過程控制的結合，確保晶片可以被處理和完成，得到極其精確、統一和可重復的結果。可以使用各種功能和選項來滿足特定應用程序的要求。其中包括多種主軸配置、機器人加載、自動化過程控制以及針對所需過程優化系統的自定義軟件。SATISLOH Auto-Flex提供了晶圓研磨、研磨、拋光的綜合解決方案，具有卓越的性能、可靠性和可重復性。它與先進的過程控制、過程監控等功能相集成,是超精度和高質量生產的絕佳選擇。