二手 SATISLOH Duo-Flex #9394939 待售

SATISLOH Duo-Flex是來自SATISLOH的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統利用了雙主軸設計和兩個獨立的研磨機，使其能夠同時在多個晶片上工作。這是通過在不同方向上旋轉晶片並調整速度來完成的，從而產生極其高效的晶片處理。首先，將晶片裝入帶有頂部和底部夾具的研磨室。研磨室會自動調整高度和寬度,以確保晶片的適當配合。然後使用一組校準滾筒來確定晶片在研磨室內的正確方向,確保均勻研磨的均勻壓力。然後，該工藝利用幾種獨特的技術來確保精密和有效的研磨。其中第一種是Duo-Flex工藝，它結合了兩個反向旋轉的磨削表面，能夠以極高的精度同時研磨和拋光。獲得專利的「Isopolar」研磨工藝進一步提高了晶片質量，利用兩個獨立的、電相反的研磨盤消除了靜電荷和邊緣舍入。最後，該單元還包括一臺獲得專利的「智能平面檢測」機，該機在研磨過程中監控晶片表面，並自動調整研磨輪以精確完成。此過程允許更高的吞吐量,並減少成品中的缺陷數量。SATISLOH Duo-Flex專為廣泛的行業而設計，為精密加工表面的晶圓的生產提供了強大可靠的機械。Duo-Flex采用雙主軸設計,結合了先進的功能,是一種非常高效的方法,可快速將表面光潔度降至0.2 µm。