二手 SATISLOH Duo-Flex #9411240 待售

SATISLOH Duo-Flex是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在實現更高通量、精度和一致結果的生產。該系統采用兩個獨立的研磨軌跡，可以串聯或連續操作。Duo-Flex在高速和低分散排放的情況下運行,能夠對直徑達8英寸（200毫米）的晶片進行平穩、連續的處理。SATISLOH Duo-Flex的運動控制單元提供了易於設置和調整的精確參數，使各種硬度的材料能夠自動化處理。Duo-Flex提供了以單步或多步模式處理晶片的靈活性。在單步模式下,單程切除薄片,而多步模式在表面準備方面提供更高的精度。在這種模式下，研磨、研磨和/或拋光工藝分為兩個或更多步驟，使用不同的磨料或化合物。本機可容納不同類型的磨輪和拋光材料，包括無定形金剛石、金剛石填充樹脂、CMC或陶瓷基拋光化合物。根據應用程序和公差要求,可以將晶片拋光到不同級別的表面粗糙度和粗糙度平均值。磨料和拋光材料可以很容易地手動或自動改變與相關參數的監控。SATISLOH Duo-Flex還提供了包括金剛石劑量工具和吸塵器的微調機制。金剛石配料資產使金剛石化合物的確切數量能夠分配到特定於材料特性的晶片上，而吸塵器除去多余的材料以便於清洗和維護模型。而且Duo-Flex設有檢測站。該工作站掃描處理過的晶片的圖像並評估地形和表面狀況。此反饋允許運算符在現場進行任何必需的參數修改,從而允許跨重復進程復制理想條件。總之，SATISLOH Duo-Flex是一種功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它具有高速、精確控制和靈活性,可實現高吞吐量、微調功能和一致的結果。