二手 SATISLOH SPM 50-2SL #9271649 待售

SATISLOH SPM 50-2SL是一種多功能晶片研磨、研磨、拋光設備，設計用於分析和加工直徑達200 mm的晶片。該系統采用直接驅動膜片主軸組件，為半導體、MEMS、太陽能電池等設備的研磨晶片等多種應用提供高精度單晶金剛石研磨。該單元還用於面磨、背磨、研磨和拋光過程中晶圓表面的平面化。該機設有帶有旋轉臺和三個直線軸的主軸模塊組件，以支撐可變主軸。可變直驅主軸由高精度軸承支撐，提供高達50,000 rpm的可變轉速。它還具有自動主軸振蕩控制,確保均勻和一致的晶圓分離.該工具以剛性臺式組件設計，配備單晶金剛石磨輪和可調節靜水軸承資產，提供自由浮動平臺。這樣可以確保穩定性和準確性,同時確保0.002 µm的高可重復性精度水平。為了保證研磨的高精度，SATISLOH SPM 50-2 SL配備了計算機化定位模型。這包括顯示微晶片表面以進行精確定位的數碼相機和用於微處理操作的三個伺服驅動線性軸。SPM 50-2SL還包括一個集成的光學測量探頭,用於連續監視和控制過程。探頭包括用於測量晶片表面相對位置和角度方向的非接觸式光學設備，以及用於檢測表面缺陷的多光譜成像系統。最後,該單元采用直觀的用戶友好觸摸屏顯示屏進行設計,可直觀顯示整個過程。這允許操作員查看參數和設置,並根據需要進行實時調整。SPM 50-2 SL是各種前沿晶圓處理應用的理想選擇。