二手 SFT SPP4885 #9390988 待售

SFT SPP4885晶圓研磨、研磨、拋光設備設計高效、產量最大。該系統具有全自動處理序列,具有卓越的晶圓處理能力。該單元包括一個先進的雙面研磨（DSG）單元，一個多功能晶圓研磨站，以及一個完全集成的拋光單元。DSG單元配有兩個水平主軸，用於在一個工藝周期內同時研磨晶片兩側。這種能力允許對晶片表面進行快速和精確的研磨，在2英寸晶片上達到4 ± 1 μ m的平坦度。多功能晶片研磨站具有兩個垂直主軸，能夠在一次操作中選擇性地將晶片的一側合圈起來。該工藝旨在在晶片表面上產生均勻的光潔度而不產生任何熱量。該工藝的最終操作由集成拋光單元執行。該裝置利用兩個處理室進行強制空氣凈化，確保清潔的工作環境，並盡量減少任何潛在的汙染。采用最先進的化學機械拋光（CMP）技術,實現了精確的表面光潔度.為了獲得最佳效果,該機器配備了可選的實時壓力監控工具,以確保整個過程中的最佳拋光條件。SPP4885晶圓研磨、研磨和拋光資產是為最高效率和生產力而設計的。其先進的自動化處理序列被設計為在大大縮短的周期時間產生優越的晶圓質量。該模型特別適合那些希望提高產量和提高陶瓷和半導體基板質量的制造商。