二手 SHENG TECHNOLOGY GTC-107021 #293647874 待售

SHENG TECHNOLOGY GTC-107021是一種自動化晶片研磨、研磨和拋光設備,可在晶片和半導體基板上產生極平坦、均勻且無缺陷的表面。這套系統適用於不同類型的材料，如矽（Si）、碳化矽（SiC）、砷化氙（GaAs）。GTC-107021有晶圓研磨、研磨和拋光兩個階段。第一階段，機組采用固定磨料研磨，快速準確地降低表面粗糙度。本機配有金剛石磨輪，自動控制必要的磨削參數，創造所需的表面紋理和質量。第二階段拋光工藝采用金剛石或磨料顆粒的松散磨料漿料，達到很高的平面化程度和表面光潔度。該工具還可以檢測和跟蹤表面缺陷,以便表征表面質量。該資產的機器人加載使大小和厚度各異的晶片易於加載和卸載。該過程可以通過人機接口進行監視,並且可以通過以太網或串行連接輕松訪問模型的遠程監視和控制。存儲過程配方以及所有操作記錄,以便於檢索和分析。機床也是溫濕度控制，冷卻劑設備有助於防止金剛石輪子和泥漿過熱。SHENG TECHNOLOGY GTC-107021提供了一種可靠、經濟高效的晶圓研磨拋光解決方案,實現了表面粗糙度極低、均勻性高、無缺陷性能符合標準的重復效果。該系統適用於廣泛的半導體工藝，包括正面和背面研磨拋光、半導體晶片和基板的生產以及表面地形的檢驗。該單元可實現極其平坦、無缺陷和均勻的表面，用於各種應用，包括太陽能電池基板和MEMS。