二手 SHUWA SW-08 #9258272 待售
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ID: 9258272
晶圓大小: 4"
優質的: 2014
Lapper, 4"
SiC and GaN
Air pressure: 0.5 MPa
Accessories
Manuals
Chiller
Power supply: 200 V, 15 A, 3-Phase
2014 vintage.
SHUWA SW-08是一種高精度晶圓研磨、研磨和拋光設備,能夠以更高的精度獲得優異的效果。它旨在滿足廣泛的應用,包括半導體加工的微結構、拋光和平坦度控制。SW-08由雙真空輔助鑄鋁主軸組成,能夠以高達5,000 RPM的速度運行。主軸連接到具有可調驅動速度的自動進紙臺。進料臺設計成以縱向或旋轉x、y、z方向移動晶片,以達到均勻性。進給臺還具有良好的隔振控制,非常適合低噪聲操作。此外,SHUWA SW-08有兩個可編程頻率高度監視器,確保精確調整進給表的晶圓高度。SW-08還具有雙級研磨機構,其中第一級設計用於預磨操作,如粗研磨、膠帶剝離和氧化物去除。接下來是第二階段的終點圈,晶圓經過一個更精確的終點通道,具有較低的磨料濃度。SHUWA SW-08還采用了由兩個拋光輪串聯組成的三重拋光系統。它具有單軌多處理設備,可以檢測表面粗糙度並相應調整拋光速度。此外,SW-08還配備了一個自動液體控制裝置,配有計時器和長達2000個周期的過程結束信號。最後,SHUWA SW-08配備了集成視覺機器,配備了攝像頭,使探針級監控能夠幫助達到最佳效果。綜上所述,SW-08是一種最先進的、高精度的晶圓研磨、研磨和拋光工具,旨在以極好的精度和精確度滿足各種應用。其雙級研磨機構、三重拋光資產、自動進料臺和集成視覺模型等特點使其成為任何精密研磨和拋光應用的絕佳選擇。
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