二手 SILTEC / CYBEC 3800 #9072114 待售

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ID: 9072114
晶圓大小: 8"
Wafer polisher, 8" CEBA controls (4) wafer carriers Control power: 115V, 60Hz, 1Ph, 10A Main power: 460V, 60Hz, 3Ph, 35-50A.
SILTEC/CYBEC 3800是為生產精密半導體晶片而設計的先進晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統采用最先進的技術,確保每個加工晶片的表面質量和精度都很高。這個通用單元包括一個初級板研磨單元,以實現均勻的表面光潔度,一個全局平面化塊,以及一個精密的金剛石研磨和研磨塊。主板磨削單元允許以高達8g/s的可調進料速率快速去除物料,並利用高達15N/cm2的可變壓力調節。該單元還包括一個200毫米晶圓板,用於精密研磨和研磨結果,最小的鉆孔。全局平面化塊設計為沿著X和Y軸實現均勻的表面粗糙度,厚度均勻。這種精密的金剛石研磨研磨塊采用了帶有軟金剛石的金剛石墊來提供非常精細的拋光光潔度,以及精密的圈面效果。CYBEC 3800包括可編程磨盤,以提高精度和速度。此外,它還具有50厘米範圍內+/-1 um的可重復性精度。它還具有30 m/s的最大研磨速度,高達4000個循環/分鐘的旋轉速度,以及高達2mm的研磨深度。機器還包括一個直觀的用戶界面,允許根據晶圓生產過程的具體要求輕松定制設置和參數。這還附帶了各種預置程序,用於不同的研磨和拋光操作。SILTEC 3800是精密晶圓研磨、研磨、拋光的可靠高效工具。它是一種用途廣泛的資產,具有精確的研磨和研磨能力,能夠以最高的生產率進行高質量的晶圓生產。
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