二手 SIM RRF / 660 #9066958 待售

SIM RRF/660是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於高性能、自動操作，用於晶圓和基板的精密加工。它配備了三個獨立的研磨/研磨/拋光頭，允許提高生產率和減少循環時間。此外,系統還提供多種流程參數,使用戶可以更好地控制其流程。RRF/660旨在以高效的方式高精度地研磨、拉圈和拋光基板。該單元配備了集成的西門子Sinumerik 840D控制器，此外還有真空密封室和高精度主軸。真空密封室允許精確、可重復的過程控制，並確保高質量的結果。高精度主軸確保了晶圓的精密研磨、研磨和拋光效果，是高質量半導體應用的理想選擇。SIM RRF/660擁有多種自動化功能。例如，它對裝載機和卸載機的集成，使得各種基材和晶片的高效定制裝卸成為可能。此外,該機器還具有完整的對齊功能,可提高準確性,並具有索引器和過程跟蹤功能,以便於操作。RRF/660還能夠執行各種晶圓和基材工藝。這些過程包括晶圓研磨、搭接和拋光，以及表面剖面和化學機械拋光。此外,該工具還配備了可選的減梁和清潔模塊,可提高工藝精度並減少資產停機時間。