二手 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9237028 待售

SPEEDFAM 10.5B-5L-V是一種精密晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於完成先進的無疤痕精細平面加工。它具有冷卻系統，廣泛的金剛石漿料拋光能力，能夠研磨和拋光直徑達300毫米的晶片。該10.5B-5L-V是一個雙盤單元，配有4軸運動控制機，允許實現各種高度專業化的表面飾面所需的精確控制。該工具最多可支持5個磨料磨削/拋光盤，每個磨削/拋光盤可根據速度、寬度和角度進行調整，允許為每個應用程序定制工藝。頭部進給由精確的線性進給資產驅動,可確保高精度的可重復運動。機器還設有一個真空室，以幫助防止碎片汙染工作表面。SPEEDFAM晶圓研磨模型具有全封閉的機櫃，以提高安全性並提供清潔無塵的環境。設備配備了一系列的壓力調節器、流量傳感器和串聯過濾，以確保壓力和體積的正確組合一直供應到研磨/拋光盤，從而產生高質量、可重復的結果。該系統還包括過程驗證功能,使其非常適合生產環境。可靠的數據記錄允許一個中央單元維護每個研磨或拋光周期的詳細記錄,以及沿途所做的更改和調整。該機還包括自動刀具磨損補償和研磨速度控制，確保用戶可以一次又一次地實現精確的可重復結果。SPEEDFAM 10.5B-5L-V旨在在要求最苛刻的應用程序中表現出色。無論您是在半導體和光子學元件上工作,還是在先進材料上工作,10.5B-5L-V都能為要求很高的表面飾面提供最高的精度和精確度。