二手 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9257685 待售

SPEEDFAM 10.5B-5L-V是一種專業級晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於半導體生產設施。該單元的10.5英寸壓板提供高達五微米的精度與低振動操作。系統包括從12,000到35,000 RPM的主軸轉速以及5到50 N厘米的研磨力。變速輸送機允許快速晶片裝卸和變速研磨。該10.5B-5L-V為用戶提供了三步晶圓精加工工藝，包括初步研磨、研磨和拋光以及最終拋光。250瓦LED前照燈和集成的狹縫圖樣菱形為晶圓拋光提供了必要的照明。該裝置采用精密的四軸承主軸設計，帶有傾斜軸承，可去除較高RPM磨削過程中產生的熱量。這樣可以防止變形並確保精確的拋光效果。低振動設計還減少了磨削過程中較小部件的振動。該10.5B-5L-V有一個集成的空浮機，提供更平穩的操作和更好的晶圓研磨和拋光精度。它的陶瓷研磨板提供了一個均勻的表面，以獲得更好的平整度，而五個定制配置的外圍研磨刀片快速去除材料從晶圓的邊緣。該工具還包括一個集成冷卻資產，確保優越的滑動在拋光操作。此外，該10.5B-5L-V還配備了微處理器控制的操作模型和用戶可編程的功能，使其極易使用。為了更好的過程控制，10.5B-5L-V包括記錄研磨參數、質量控制數據和其他重要參數的實時數據跟蹤設備。此數據可用於調整工藝參數,以提高吞吐量和可靠性。SPEEDFAM 10.5B-5L-V具有低振動操作、變速研磨、微處理器控制操作和實時數據跟蹤功能,為半導體生產設施中的晶圓研磨、研磨和拋光操作提供了簡單可靠的解決方案。其用戶友好的設計和可靠的性能使其成為任何晶圓處理環境的理想選擇。