二手 SPEEDFAM 12B-1327 #9276208 待售

SPEEDFAM 12B-1327設備是為半導體和光電元件設計的高精度晶圓研磨、研磨拋光機。該系統能夠實現高達0.2 µm的研磨精度，從而獲得高度準確和可重復的結果。SPEEDFAM單元配備了兩個研磨主軸，每個主軸都有自己的電機和主軸頭，以及兩個集成的平行研磨和拋光主軸，旨在確保研磨和拋光操作的均勻性。其獨特的設計允許對不規則形狀的部件進行高精度的研磨和研磨,並以最小的手動幹預,以及能夠自動調整各個工藝步驟的拋光壓力。這臺機器配備了一個控制器，該控制器具有用戶友好的PLC編程功能，具有復雜的功能，如實時數據記錄工具和可追蹤的追蹤性，可用於研磨和拋光操作。這種集成資產消除了對繁瑣的設置和編程的需求,使其高效可靠。晶圓研磨主軸頭裝有專利的磨料籃總成,可確保晶圓整個表面均勻研磨。磨頭由三個磨輥支撐，在保持相同磨削輪廓的同時，可以很容易地更換。此外,在磨削和拋光過程中,磁頭由兩級加載期支撐,確保均勻的紋理和表面光潔度。Lapping Spindles裝有自動頭對接模型,可根據每個晶片的表面輪廓調整工作壓力。這消除了操作過程中過度研磨和不足研磨的風險，提高了過程的可靠性。拋光主軸裝有專利的自動可調拋光頭,可為每個晶片提供精確的壓力,從而獲得優異的拋光效果。它也可以被編程為先進的拋光技術，如波形拋光和圖案，以及傳統和先進的拋光介質類型，允許更大的靈活性。12B-1327是一種高度通用的自動晶圓研磨、研磨和拋光操作設備。它具有用戶友好的編程和高精度的結果，是半導體和光電元件加工的理想選擇。