二手 SPEEDFAM 12B-5L #293794421 待售

SPEEDFAM 12B-5L是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,可為要求高精度和高效率的應用提供多種功能和優勢。12B-5L可以加工前後晶圓直徑達5英寸。它配備了變速直流電動機，允許9000至45000 RPM的變化磨削速度。SPEEDFAM 12B-5L包括安全聯鎖系統,該系統可防止進入研磨區域,並在聯鎖被清除之前阻止機器運行。12B-5L采用恒壓研磨技術，保證晶片表面光潔度的均勻性。自動補償控制功能補償磨削壓力,保證均勻的光潔度和精度.該單元還包括一個模具中心圓盤，允許精確晶圓同心度和位置精度。此外,SPEEDFAM 12B-5L還配備了可變進料速率,以最大程度地減少加工時間,並降低過度研磨和磨削不足的風險。12B-5L有一個旋轉表索引機，可以安全和方便地加載和卸載晶片。表索引器工具由四個粗糙的驅動螺釘和四個精細的驅動螺釘組成,每個螺釘由高速電動機獨立驅動,從而使表精確移動到所需的位置。SPEEDFAM 12B-5L還包括一個索引研磨附件，可以快速安裝以執行半徑研磨、輪廓研磨、腳跟倒角等特殊操作。指標研磨附件配有可移動的滑塊，可以向前和向後移動45度，使研磨操作具有更大的靈活性。此外，12B-5L還配備了可調節壓力的真空卡盤，允許在研磨操作過程中緊握晶片。這種真空卡盤在晶片上形成高度可靠的抓地力，提供一貫光滑和精確的表面光潔度。總體而言,SPEEDFAM 12B-5L是最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為需要高精度和高效率的應用而設計。它提供了廣泛的功能和優勢,使其成為需要高精度和一致性的操作的理想模型。