二手 SPEEDFAM 12B-6L #9007407 待售

SPEEDFAM 12B-6L是一種用於半導體制造的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統采用6個磨輪，能夠精確快速地研磨半導體晶片，提供所需的表面光潔度和尺寸精度。該裝置的設計具有卓越的質量和可靠的性能,可實現低批量和大批量生產。12B-6L具有一個30英寸的鋼制封閉式腔室,帶有傳動強制通風功能,可進行有效的溫度控制,這對於實現機器中所有晶片的均勻拋光至關重要。該工具還消除了晶圓由於過度磨削壓力和溫度而破裂的可能性。6個磨輪在臺面上可單獨調節，可編程為自動重復磨削序列。SPEEDFAM 12B-6L還具有工作流監視器（WFM）,這是一種過程控制資產,可幫助保持每個周期的均勻性和可重復性,確保晶片保持其所需的形狀和表面光潔度。此型號使用可編程存儲卡,以確保每個晶圓大小和厚度的結果一致。為了在生產過程中保持最高的質量標準,12B-6L使用了「安全聯鎖」,以防止因人為錯誤造成的操作事故。它有一個位於磨輪上方的第十二代研磨板，用於去除邊緣和表面毛刺。此外，機動化工作頭可調節至多種角度OSA（光學球差），產生精度高、圖像清晰的晶圓。設備配備計算機顯示器和打印機，提供所有生產運行的數字記錄。這提供了一個數據日誌的完成晶片計數，磨料循環數和時間，拋光參數和晶片表面條件。然後將此日誌打印出來,以便對數據進行進一步分析、審查過程和不斷優化。SPEEDFAM 12B-6L是一個可靠的系統，消除了耗時的人工操作，從而提高了產量。它具有高精度和重復性，是半導體制造的重要工具。