二手 SPEEDFAM 12B-6P #9073042 待售

SPEEDFAM 12B-6P是晶圓研磨、研磨和拋光設備.它使用戶能夠快速研磨、膝蓋和拋光直徑達8英寸的半導體晶片。該系統適用於器件研磨、動力器件研磨、排水側墻研磨、柵極氧化物研磨、平面化柵極電極、粗磨、屏障氧化物、拋光光潔度、MEMS拋光等精密應用。該單元包括集成12英寸雙臂主軸電機和6英寸精密卡盤和6HP集成渦輪電機，用於高精度研磨和拋光。它還包括一對精密軸承安裝的研磨/拋光盤、高品質的標準金剛石化合物、一套三軸空氣浮表和其他各種配件，如各種樣品架、一個鐵箔和氣動卡盤氣壓控制。該機具有良好的磨削和拋光性能,具有輕巧的觸感和優異的表面光潔度.這是通過使用雙臂主軸電機和剛性、高精度的卡盤實現的，這提供了一個非常平滑的操作與可忽略的振動。為了提高精度,在制造過程中,研磨/拋光盤和卡盤均經過精密加工和嚴格控制。集成渦輪電動機為材料的精確去除提供了非凡的動力。空氣浮表提供樣品與研磨/拋光盤之間的總接觸，確保結果的可重復性，並密封清潔區域，以消除空氣中的汙染。此外,SPEEDFAM精心設計的樣品持有者能夠準確定位工件,並最大限度地減少拋光超出規格的機會。該工具還包括一系列易於使用的控制功能,允許用戶根據自己的特定需求定制資產。總之,12B-6P是一種高精度晶圓研磨、研磨和拋光模型,旨在為用戶提供最大的靈活性,以最小和最經濟高效的方式完成一系列任務。該設備具有雙臂主軸電機、優質標準金剛石化合物、空氣浮表和各種樣品持有者等多種特點，可實現優異的表面光潔度和結果的可重復性，是專業人士和業余愛好者的理想工具。