二手 SPEEDFAM 12B #293639920 待售

SPEEDFAM 12 B晶圓研磨、研磨和拋光設備的開發是為了滿足當今集成電路和MEMS制造過程中使用的敏感且難以加工的材料對高級表面飾面的需求。該系統旨在在晶圓、晶圓按鈕、骰子和其他薄膜基板上提供可靠且可重復的拋光效果。該裝置利用先進的靜態和動態拋光技術來生產成品表面。該機的基礎是重型雙層隔離底座，有助於提供出色的振動控制，從而獲得優異的效果。此外,該工具還配備了功能齊全的控制面板,可方便、直截了當地操作。12 B配備了12英寸的研磨拋光板，能夠覆蓋廣泛的研磨和拋光程序。再者，資產可以同時容納多達三個不同的磨料帶，因此可以同時處理不同的晶片和基板。框架還包括一個具有直邊的固定長度的壓板，可確保每個晶片的磨削切口一致。該模型還包括一個單獨的研磨裝置，可以在晶片和薄膜基板上產生精確、均勻的光潔度。它由一個由電動機驅動的徑向臂和一個以固定速度旋轉的壓板組成。手臂將晶片或薄膜基板固定在適當的位置,並具有一組可調節的研磨輪,可讓您調整研磨速率以達到所需的光潔度。該設備還配有專門設計的配件,以增強您的研磨和拋光工作流程。這些附件包括一個拋光墊適配器,它允許您連接不同的拋光墊和Platen Plate Adapter,以減少振動並提高穩定性。此外，該系統還配備了晶圓傳輸單元，以幫助轉移晶圓而不會汙染晶圓表面。SPEEDFAM 12 B晶片研磨、研磨及拋光機是一種理想的解決方案,可實現在當今先進制造工藝中使用的敏感且難以加工的材料上獲得優異的表面光潔度,以及在大型晶片和薄膜基板上實現精確、均勻的光潔度。該工具強大的設計和先進的技術提供可靠和可重復的拋光效果。