二手 SPEEDFAM 15B-5L-2M #9031446 待售

SPEEDFAM 15B-5L-2M是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足當今半導體和其他先進材料加工應用的苛刻要求。它非常適合在矽、砷、氮、GaN、金剛石、藍寶石和其他堅硬易碎材料上進行表面和成型研磨、研磨和拋光操作，以及光學表面的研磨和拋光。該系統非常適合在最終研磨、拋光和研磨工藝之前對多級晶片進行預厚處理。15B-5L-2M配有15 kW主電機、5 kW研磨電機和2 kW電磁卡盤，用於固定工作部件。它特別設計用於進行高效率的輪廓研磨、平整和拋光,最多可達到8英寸的晶圓。該模型包括一個精密XYZ橫向，一個可調角度金剛石磨輪和一個直接驅動控制單元。由於其可調節的角磨輪,該機能夠產生復雜的形狀,並在單個通道內達到所需的工件輪廓角度。高精度磨床可提供較快的拆卸速度,並可達到0.2 μ m或更高的平整度。此外,SPEEDFAM 15B-5L-2M晶圓研磨、研磨和拋光設備還具有自動材料交換裝置,可確保從進料器到研磨頭的快速、準確的零件自動傳輸。閉環冷卻模型可實現高效冷卻,保持工件溫度低和研磨過程穩定。該設備還包括用於目視檢查和過程監測的先進視覺系統。視覺系統能夠檢測工件尺寸、位置、面積和形狀的缺陷。此功能可確保非常準確和一致的生產,確保加工零件的最高質量。總之，15B-5L-2M是一種高性能的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，為加工最苛刻的零件提供了極好的精度、精確度和可重復性。這臺機器可用於晶圓制造、LED制造、平板顯示器生產以及許多其他應用等多種行業。