二手 SPEEDFAM 15B-5L #9276639 待售

SPEEDFAM 15B-5L是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光（WGLP）設備,專為要求最苛刻的應用而設計。該系統提供精密的表面精加工和允許低顆粒濃度和高質量的表面.該設備具有處理8"、12"和15"（200/300毫米）晶片的能力,具有動態和可重復的操作功能,以及廣泛的可能過程。這臺機器的模塊化設計由三個核心部件組成，以便進行有效、可靠的操作：研磨站、拋光站和研磨站。磨床站配備了一個能夠高速轉動的伺服轉動主軸，對實現的轉速進行了極大的控制。拋光站由先進的拋光輪和主動冷卻機及變速調節組成。對拋光工藝進行了全面控制，允許精確的粒徑控制和精加工參數。研磨站配備了多種壓力機和拋光技術，精度更高，操作更方便。15B-5L具有靈活性,具有廣泛的操作參數,如工藝參數、功率級別、拋光頭速度和其他變量。該機采用多種冷卻技術進行高效散熱，其控制系統是自動化技術的最新產品。全功能的機械臂設計的可靠性與最高的精度。還包括專有軟件,以確保準確性和可重復性。這臺機器提供了精密加工的極致，在半導體晶圓研磨、研磨和拋光方面有著廣泛的應用。利用SPEEDFAM 15B-5L,用戶可以獲得提高準確性、速度和成本效益的優勢。此高效工具專為最具挑戰性的生產程序而設計,滿足最嚴格的行業要求。